[发明专利]一种解决OLED制程中蒸镀RGB后光阻不易剥离的方法有效
| 申请号： | 202010499944.3 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN111628116B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 胡璐 | 申请（专利权）人： | 南京华易泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H10K71/16 | 分类号： | H10K71/16;H10K59/35 |
| 代理公司： | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人： | 林鹏 |
| 地址： | 210043 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示器件技术领域，尤其为一种解决OLED制程中蒸镀RGB后光阻不易剥离的方法，包括如下步骤，第一步：光阻涂覆，涂覆第一光阻层PR1和第二光阻层PR2；第二步：UV曝光，对第一光阻层PR1进行曝光处理；第三步：光阻显影，对第一光阻层PR1和第二光阻层PR2进行显影处理；第四步：干蚀刻调节，将显影完成后的基板整体放置于干蚀刻的腔盆中；本发明具备可以使光阻剥膜液与光阻进行很好接触，且缩短去除光阻工艺消耗的时间的优点，解决了现有的显示器件蒸镀后易导致光阻剥膜液不能很好的与光阻相接触，从而影响光阻去除，此种现象会使OLED黄光制程过程中去除光阻工艺消耗的时间过长，甚至导致光阻无法顺利去除，从而影响后续制程的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 解决 oled 制程中蒸镀 rgb 后光阻 不易 剥离 方法 | ||
【主权项】：
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