[发明专利]涂布装置在审

专利信息
申请号: 202010469567.9 申请日: 2020-05-28
公开(公告)号: CN112007826A 公开(公告)日: 2020-12-01
发明(设计)人: 阵场成行;松本龙儿 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: B05C9/10 分类号: B05C9/10;B08B5/02;B08B5/04
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 郝家欢
地址: 日本国大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种涂布装置(10),其包括:载置部(11),其载置板状的被涂布物(30);膜材料涂布部(12),将膜材料(31)沿涂布方向涂布在被载置于所述载置部(11)的所述被涂布物(30)的板面(30A);清洁部(21),其相对于所述膜材料涂布部(12),被配置在所述涂布方向的上游侧,通过与所述膜材料涂布部(12)一起相对所述载置部(11)移动,去除所述被涂布物(30)的板面(30A)上的异物;所述膜材料涂布部(12)与所述清洁部(21)被一体设置,藉由一个移动驱动部(17)相对所述载置部(11)沿所述涂布方向移动。
搜索关键词: 装置
【主权项】:
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