[发明专利]一种平面靶材的自动喷砂设备及自动喷砂方法在审
申请号: | 202010462799.1 | 申请日: | 2020-05-27 |
公开(公告)号: | CN111451942A | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 文宏福;郭文明 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;韶关市欧莱高新材料有限公司 |
主分类号: | B24C1/08 | 分类号: | B24C1/08;B24C3/12;B24C9/00 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李少欢 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种平面靶材的自动喷砂设备及自动喷砂方法,喷砂装置包括中部喷砂单元和侧部喷砂单元,侧部喷砂单元设置有侧部喷砂枪,侧部喷砂枪的枪口朝向靶材的侧部,中部喷砂单元设置有中部喷砂枪,中部喷砂枪的枪口朝向靶材的板面,至少中部喷砂枪为摆动喷枪,中部喷砂枪的摆动方向与运送装置移动的前进方向垂直,本发明公开了一种平面靶材的自动喷砂方法,本发明的自动喷砂设备和自动喷砂方法,能有效提高喷砂效率,提高喷砂良品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 平面 自动 喷砂 设备 方法 | ||
【主权项】:
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