[发明专利]一种固态装配谐振器的联接结构及制作工艺有效
申请号: | 202010427348.4 | 申请日: | 2020-05-19 |
公开(公告)号: | CN111756346B | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 李林萍;盛荆浩;江舟 | 申请(专利权)人: | 见闻录(浙江)半导体有限公司 |
主分类号: | H03H3/02 | 分类号: | H03H3/02 |
代理公司: | 厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙) 35235 | 代理人: | 陈远洋 |
地址: | 313000 浙江省湖州市康*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种固态装配谐振器的联接结构及制作工艺,该固态装配谐振器包括由依次层叠的下电极层、压电层和上电极层形成的谐振功能层,联接结构包括设置在相邻两个固态装配谐振器之间的联接桥,并且联接桥与压电层之间形成空腔,空腔在压电层上的投影区域至少覆盖下电极层的一个边缘。该固态装配谐振器具有BAW的优良特性,可以有效抑制器件互联时产生的寄生所带来的不良效果,也具有屏蔽外界与内部电磁干扰、散热的特性,使滤波器具有良好的谐振性能和电磁屏蔽性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 固态 装配 谐振器 联接 结构 制作 工艺 | ||
【主权项】:
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