[发明专利]一种纳米分辨X射线全场显微成像的方法及装置在审

专利信息
申请号: 202010412329.4 申请日: 2020-05-15
公开(公告)号: CN111505025A 公开(公告)日: 2020-08-07
发明(设计)人: 张凯;袁清习;王山峰;黄万霞 申请(专利权)人: 中国科学院高能物理研究所
主分类号: G01N23/00 分类号: G01N23/00
代理公司: 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 代理人: 司立彬
地址: 100049 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种纳米分辨X射线全场显微成像的方法及装置。本装置包括一X射线光源聚焦镜,一波带片;其特征在于,所述X射线光源聚焦镜为一锥形毛细管聚焦镜;所述锥形毛细管聚焦镜的较大开口端作为入射端、较小开口端作为出射端;根据所述波带片的数值孔径确定锥形毛细管聚焦镜的锥角θ4;其中,θ4=θ3‑ω1波带片的数值孔λ代表X射线的波长,△Rn是波带片的最外环宽度,H为锥形毛细管聚焦镜中心点的内径高度,r为锥形毛细管聚焦镜中点距离X射线光源的距离。
搜索关键词: 一种 纳米 分辨 射线 全场 显微 成像 方法 装置
【主权项】:
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