[发明专利]基于洛伦兹力的压电磁传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010405326.8 申请日: 2020-05-14
公开(公告)号: CN111487567B 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 邵率;吴涛 申请(专利权)人: 上海科技大学
主分类号: G01R33/028 分类号: G01R33/028;G01R33/04;G01R33/06;G01R33/10;G01R33/00
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 徐俊
地址: 201210 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种基于洛伦兹力的压电磁传感器,其特征在于,包括用于固定线圈和感应电极的压电层,压电层固定于硅衬底上,压电层上固定有至少一对感应电极和至少一个线圈;线圈用于驱动谐振器使其发生谐振,其位于压电层上方;感应电极中的上电极、下电极分别固定于压电层的上下两侧。制备方法为:在硅衬底上生长下电极;在下电极表面生长压电层;在压电层上表面生长金属,图形化为上电极和线圈;对压电层进行刻蚀形成器件区边界;对硅衬底进行刻蚀,使器件区的压电层与其下方的硅衬底之间形成空腔。本发明可将工作频率提高到百兆赫兹量级,并可以扩展到吉赫兹。
搜索关键词: 基于 洛伦兹力 压电 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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  • 胡顺全;郑源明;董俊俊 - 上海复旦天欣科教仪器有限公司
  • 2009-12-17 - 2010-09-15 - G01R33/028
  • 本实用新型属于磁性测试技术领域,具体为一种振动样品磁强计振动源。该振动源由直流电机、起振盒、振动杆、限位装置、样品盒和磁极体等组成。其中,起振盒中包括一个偏心轮、一个滚珠轴承和一个方形滑块,方形滑块设于起振盒的长方形槽中;样品盒设置在限位装置的通孔中,并处于磁极体磁场的鞍区中,样品盒通过振动杆与振动盒连接。本实用新型以直流电机和偏心轮的转动带动滚珠轴承在滑块中滚动,并用长方形槽对滑块的运动方向加以限制,从而使滑块带动振动杆和样品盒产生一维振动,且限位装置始终将样品盒的位置限制于磁极间磁场的鞍区之中。本振动系统振动大且稳定,可减少准备时间,并且结构简单,方便使用。
  • 一种扭摆式微型磁敏感器-200810227535.7
  • 任大海;尤政;武凌祺;阎梅芝;戴震宇 - 清华大学
  • 2008-11-28 - 2009-04-15 - G01R33/028
  • 本发明公开了传感器制造技术领域中的一种扭摆式微型磁敏感器。技术方案是,扭摆式微型磁敏感器包括表头芯片和检测控制电路;表头芯片由低阻硅片和玻璃基底键合而成;检测控制电路包括高频调制模块、一次同步解调模块、锁相环、二次同步解调模块。低阻硅片由可动结构和支座构成;可动结构包括扭摆、两根折叠梁、应力释放结构和阻尼孔;可动结构上面加工有上层金属线圈、下层金属线圈、T字型开口和SiNx绝缘层;玻璃基底上包含金属极板、金属极板引线电极和硅引线电极;支座与玻璃基底阳极键合,并使可动结构与玻璃基底脱离,成悬空状态。本发明提供的磁敏感器制作简便、灵敏度高、灵活性强;输出的信号准确、稳定。
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