[发明专利]一种基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器有效

专利信息
申请号: 202010346070.8 申请日: 2020-04-27
公开(公告)号: CN111413375B 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 张顺平 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 孔娜;李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明属于气敏传感器相关技术领域,其公开了一种基于气敏膜‑电极界面电阻信号的气体传感器,传感器包括基底、测温电极、加热电极及多个气敏组件,所述测温电极、所述加热电极及多个所述气敏组件间隔设置在所述基底上;所述气敏组件包括至少三个测量电极及气敏膜,至少三个所述测量电极对称设置;至少三个所述测量电极间隔设置在所述基底上,所述气敏膜设置在所述基底上,且覆盖至少三个所述测量电极。本发明可以提供更多且更均匀的活性位点分布,可进一步增强传感器对气体的选择性;气敏膜‑测量电极接触界面易于调控,能够从器件层面增强对气体的选择性;且气敏膜‑测量电极接触电阻信号不易受到气敏膜颗粒生长的影响,长期稳定性好。
搜索关键词: 一种 基于 气敏膜 电极 界面 电阻 信号 气体 传感器
【主权项】:
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