[发明专利]一种基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器有效
申请号: | 202010346070.8 | 申请日: | 2020-04-27 |
公开(公告)号: | CN111413375B | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 张顺平 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 孔娜;李智 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明属于气敏传感器相关技术领域,其公开了一种基于气敏膜‑电极界面电阻信号的气体传感器,传感器包括基底、测温电极、加热电极及多个气敏组件,所述测温电极、所述加热电极及多个所述气敏组件间隔设置在所述基底上;所述气敏组件包括至少三个测量电极及气敏膜,至少三个所述测量电极对称设置;至少三个所述测量电极间隔设置在所述基底上,所述气敏膜设置在所述基底上,且覆盖至少三个所述测量电极。本发明可以提供更多且更均匀的活性位点分布,可进一步增强传感器对气体的选择性;气敏膜‑测量电极接触界面易于调控,能够从器件层面增强对气体的选择性;且气敏膜‑测量电极接触电阻信号不易受到气敏膜颗粒生长的影响,长期稳定性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 气敏膜 电极 界面 电阻 信号 气体 传感器 | ||
【主权项】:
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