[发明专利]一种半导体器件的测试装置、方法及系统在审
| 申请号： | 202010333858.5 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN111487516A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 曾传滨;罗家俊;孙佳星;倪涛;王娟娟;王玉娟;张煦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/20 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体器件的测试装置、方法及系统，该装置包括：半导体参数分析仪、矩阵开关、测试终端和封装板；半导体参数分析仪与矩阵开关的输入端通过低漏电连接线连接；矩阵开关的输出端与测试终端的输入端通过低漏电连接线连接；封装板通过测试终端上的夹具固定在测试终端中，封装板的引脚通过夹具与测试终端的输入端连接；封装板上可固定并连接待测器件的各电极；其中，所述半导体参数分析仪控制切换所述矩阵开关的输出通路，从而控制切换所述待测器件和/或切换测试参数。本发明提供一种面向封装器件、电路的高效率测试装置、方法及系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体器件 测试 装置 方法 系统 | ||
【主权项】：
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