[发明专利]一种容积替代法真空腔体容积测试系统及其测试方法在审
| 申请号： | 202010300278.6 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111473833A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 杨传森;吴端;陈静;梁明超;柏向春;延峰;闫睿;卢耀文 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01F17/00 | 分类号： | G01F17/00 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 王大方 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种容积替代法真空腔体容积测试系统及其测试方法，属于真空腔体容积测试领域；利用内置标准体积、两次气体静态膨胀对非标真空腔体容积进行精确测量的方法：将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室，以测定两个真空腔室的体积比，在气体膨胀室置入标准体积的条件下，将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室，以测定被测真空腔室的准确体积；提出操作便捷的真空测量系统，其中气体膨胀室、阀门、标准体积经特殊高真空处理，具有较小的材料放气率，使气体静态膨胀过程中装置本底放气极小，保证测量的精确性。本发明的系统和方法能够快速、便捷地对各型真空腔体的容积进行精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 容积 替代 空腔 测试 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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