[发明专利]一种用于节距移动的测量基底及其制备方法、测量方法有效
| 申请号： | 202010249233.0 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111504210B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 宋毅;刘胜;桂成群 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14;G01B11/02;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 胡琦旖 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于光学测量技术领域，公开了一种用于节距移动的测量基底及其制备方法、测量方法。测量基底上设置有测量标记，测量标记包括多个标记单元并构成周期性的第一光栅结构；每个标记单元包括2n个标记线条并构成非对称型的第二光栅结构。制备方法包括设计测量模板、光刻、牺牲层掩膜、沉积、刻蚀。用于节距移动的测量方法包括制备测量基底，采集并根据测量基底产生的+1阶、‑1阶衍射光的光强，获得节距移动的大小。本发明解决了现有技术中针对节距移动的测量手段分辨率较低、测量速度较慢的问题，能够实现高速、无损测量，提高测量的灵敏度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 移动 测量 基底 及其 制备 方法 测量方法 | ||
【主权项】：
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