[发明专利]硅波导与氧化硅波导模式转换器的制备方法有效
| 申请号： | 202010243301.2 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111522096B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 孙德贵;于汀 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G02B6/14 | 分类号： | G02B6/14;G02B6/30 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 王丹阳 |
| 地址： | 130000 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 硅波导与氧化硅波导模式转换器及其制备方法涉及光通信和光传感技术领域，该转换器包括：硅基底、二氧化硅底包层、单模硅波导芯、楔形波导芯、单模二氧化硅波导芯和二氧化硅上包层；二氧化硅底包层设置在硅基底上，在二氧化硅底包层上从一端到另一端依次设置单模硅波导芯、楔形波导芯和单模二氧化硅波导芯；单模硅波导芯、楔形波导芯和单模二氧化硅波导芯为一体化结构，单模二氧化硅波导芯为条型结构；楔形波导芯靠近单模硅波导芯的部分为硅波导芯，靠近单模二氧化硅波导芯的部分为二氧化硅波导芯。通过此方法使其达到从单模到单模的转化效果，即实现了硅单模波导与氧化硅单模波导之间的波导内模式转化，最终满足波导与光纤之间的能量转化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 氧化 模式 转换器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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