[发明专利]一种三元系弛豫铁电薄膜材料及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及一种三元系弛豫铁电薄膜材料及其制备和应用，材料的化学组成为(1‑x‑y)Pb(In1/2Nb1/2)O3‑yPb(Mg1/3Nb2/3)O3‑xPbTiO3‑zMn，其中x＝0.20～0.40，y＝0.18～0.60，z＝0.003～0.03，包括以下步骤：(a)将MnO2、In2O3、Nb2O5、MgO、PbO和TiO2混合，后依次进行球磨、烘干、过筛、预烧、造粒、压片和烧结，得到Mn‑PIN‑PMN‑PT陶瓷靶材；(b)将SrTiO3单晶依次置于丙酮、乙醇和去离子水中进行超声洗涤，后干燥，得到衬底；(c)以激光溅射的方式，将SrRuO3陶瓷靶在衬底上进行沉积处理，后进行退火处理，得到底电极；(d)以激光溅射的方式，将Mn‑PIN‑PMN‑PT陶瓷靶材在底电极有上进行沉积处理，后进行退火处理，得到薄膜材料。与现有技术相比，本发明的薄膜具有纯钙钛矿结构，且具有优异的铁电和压电性能，以及较高的居里温度和三方‑四方相变温度。