[发明专利]一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器在审

专利信息
申请号: 202010238766.9 申请日: 2020-03-30
公开(公告)号: CN111404507A 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 苗苗;李智奇;冯娜娜;李皖;周渭;张艺 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: H03H3/02 分类号: H03H3/02;H03H9/19
代理公司: 西安吉顺和知识产权代理有限公司 61238 代理人: 邱志贤
地址: 710071 陕西省*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明涉及晶体谐振器,特别是一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器,其特征是:至少包括:晶体,所述的晶体为圆片形;与圆片形晶体同心且小于圆片形晶体的直径有一中心电极,中心电极镀膜在晶体的上下表面上;沿晶体的直径方向在中心电极的两侧有延伸层;两侧的延伸层各延伸至一个扇形面,扇形面的中心线与延伸层中心线重合;在中心电极上有补偿膜,补偿膜为长方形,补偿膜的长度方向与延伸层中心线垂直;长方形补偿膜长度方向与晶体片x轴方向一致。它提供了一种结构简单、体积更小、功耗更低、稳定度更高、成本较低的采用条形补偿膜应力补偿晶体谐振器。
搜索关键词: 一种 采用 条形 补偿 应力 晶体 谐振器
【主权项】:
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