[发明专利]一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器在审
申请号: | 202010238766.9 | 申请日: | 2020-03-30 |
公开(公告)号: | CN111404507A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 苗苗;李智奇;冯娜娜;李皖;周渭;张艺 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | H03H3/02 | 分类号: | H03H3/02;H03H9/19 |
代理公司: | 西安吉顺和知识产权代理有限公司 61238 | 代理人: | 邱志贤 |
地址: | 710071 陕西省*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及晶体谐振器,特别是一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器,其特征是:至少包括:晶体,所述的晶体为圆片形;与圆片形晶体同心且小于圆片形晶体的直径有一中心电极,中心电极镀膜在晶体的上下表面上;沿晶体的直径方向在中心电极的两侧有延伸层;两侧的延伸层各延伸至一个扇形面,扇形面的中心线与延伸层中心线重合;在中心电极上有补偿膜,补偿膜为长方形,补偿膜的长度方向与延伸层中心线垂直;长方形补偿膜长度方向与晶体片x轴方向一致。它提供了一种结构简单、体积更小、功耗更低、稳定度更高、成本较低的采用条形补偿膜应力补偿晶体谐振器。 | ||
搜索关键词: | 一种 采用 条形 补偿 应力 晶体 谐振器 | ||
【主权项】:
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