[发明专利]增加电致吸收光调变器频宽的方法及其元件结构和制程在审
| 申请号： | 202010207832.6 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113433758A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 林方正;范郁君;罗丕丞;邱怡菁 | 申请（专利权）人： | 华星光通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/17 | 分类号： | G02F1/17 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种增加电致吸收光调变器频宽的方法及其元件结构和制程，其中该增加电致吸收光调变器频宽的方法为，首先，在一半导体元件(既有长度的电致吸收光调变器)的波导上，分段定义出多个电致吸收光调变器，如此可以通过缩短电致吸收光调变器的长度来增加元件的频宽。其次，使用高特征阻抗传输线串接该多个电致吸收光调变器，通过降低微波的反射来增加该半导体元件的频宽。最后，在该多个电致吸收光调变器的两端处分别形成阻抗匹配的微波信号的输入传输线与输出传输线。本发明的多个低阻抗的电致吸收光调变器除可以降低封装的寄生效应，同时可通过控制其阻抗来降低微波反射，增加元件的频宽。 | ||
| 搜索关键词： | 增加 吸收 光调变器 频宽 方法 及其 元件 结构 | ||
【主权项】：
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