[发明专利]一种基于光学操控的纳米孔阵列的可控加工方法及装置有效
| 申请号： | 202010192100.4 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111348619B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 陈云;陈燕辉;丁树权;施达创;陈新;高健;刘强 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 朱培祺;资凯亮 |
| 地址： | 510006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光学操控的纳米孔阵列的可控加工方法及装置，其方法包括以下步骤：步骤(1)，在清洗好的硅片的上表面旋涂一层十六烷基三甲基氯化铵层；步骤(2)，在完成步骤(1)的硅片的上表面自组装一层金纳米颗粒，步骤(3)，通过多光束振镜分散出阵列激光束，步骤(4)，通过单束激光束对各个金纳米颗粒进行光学操纵以使各个金纳米颗粒移动至对应的目标位置上。克服金纳米颗粒自组装时范德华力的限制，在指定位置准确地加工出定制化的金纳米颗粒阵列，并且通过金属辅助化学刻蚀高效地加工出高质量的硅纳米孔阵列，克服现有纳米孔阵列的刻蚀技术的所需工艺实验工作量大、孔位调整难度大等缺点，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光学 操控 纳米 阵列 可控 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
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