[发明专利]基于BN的光电导型同质集成紫外/红外双色探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种基于BN的光电导型同质集成紫外/红外双色探测器，为凸台结构，从下至上依次包括衬底，均通过外延技术生长的BN缓冲层、三维BN层、介电层、二维BN层，介电层和二维BN层形成台面；还包括第一电极、第二电极，第一电极设于三维BN层上，第二电极设于二维BN层上；探测器利用光电导型模式，实现红外和紫外探测信号的提取。本发明还提供了上述基于BN的光电导型同质集成紫外/红外双色探测器的制备方法。本发明的基于BN的光电导型同质集成紫外/红外双色探测器的结构简单，利用二维BN光学声子极化效应诱导自由载流子漂移实现红外探测，利用三维BN实现紫外探测，实现了同质集成，且制备工艺简单、可控性强、可批量生产、应用前景广泛。