[发明专利]送料装置

摘要

本发明提供了一种送料装置，包括：载台、第一驱动组件和取料组件，载台用于承载待加工件；载台承载于第一驱动组件上，第一驱动组件用于带动待加工件相对载台进行分离运动；取料组件能够接近或远离载台，取料组件用于带动分离于载台的待加工件运动，取料组件带动待加工件移动，从而可以将待加工件送入工艺腔室内进行加工，铝载板不需要带动待加工件进出工艺腔室，保证铝载板的表面温度不易发生变化，从而避免铝载板表面温度不均匀而对待加工件的品质产生影响，而且本申请中通过第一驱动组件和取料组件相配合，从而自动将待加工件送入工艺腔室内，提高将待加工件放入工艺腔室的自动化程度和便利性。