[发明专利]一种液化型超高纯臭氧制备装置在审
| 申请号： | 202010151885.0 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111333034A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 方衍编;谢斌平;梅新灵;王辉;范鹏 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C01B13/11 | 分类号： | C01B13/11;F25J3/08 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 姜杉 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种液化型超高纯臭氧制备装置，用于解决现有技术中难以实现小型设备快速安全稳定制备高纯度臭氧的技术问题，本发明包括：氧气源模块、臭氧发生模块、臭氧提纯腔、液化池、导热板、液化池温度控制模块、斯特林制冷机、制冷机支撑装置、铜辫子、抽气模块、尾气处理模块。该装置采用斯特林制冷机降温，通过铜辫子传导热量，加上多重减震设计解决斯特林制冷机的振动问题，配备液化池温度控制模块用于控制和维持提纯温区，在一定的气压下，臭氧气体被液化，而氧气被抽气模块抽走，从而实现超高纯臭氧的制备。实施本发明的技术方案可实现小型设备快速安全稳定制备高纯度臭氧的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液化 高纯 臭氧 制备 装置 | ||
【主权项】：
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