[发明专利]一种高分辨颗粒检测装置

摘要

本发明公开了一种高分辨颗粒检测装置，属于颗粒检测的创新技术领域。该装置包括用于隔离人员和空气等扰动与污染的隔离罩；用于支撑和定位连接各分系统的支架；用于承载测试样片、调节样片与成像系统共轴、检测区域定位和大面积检测步进拼接的工件台系统；用于物镜切换、自动聚焦、检测成像的成像系统；用于颗粒检测照明的照明系统；用于控制工件台系统精密定位、控制物镜切换与自动聚焦、图像采集与处理的控制系统。该装置基于暗场成像的原理，通过收集颗粒的散射光进行成像，进而实现获取样片上颗粒的尺寸与分布信息的能力。