[发明专利]一种黑磷薄膜、其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202010134516.0 申请日: 2020-03-02
公开(公告)号: CN111334780A 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 张凯;徐轶君;史鑫尧 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: C23C16/28 分类号: C23C16/28;C30B25/18;C30B29/02
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;贾允
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及二维材料技术领域,具体是一种黑磷薄膜的制备方法,其特征在于,包括:将生长基底、含磷前驱物和矿化剂置于真空密闭的反应腔室内,其中,所述生长基底和所述含磷前驱物被置于所述真空密闭的反应腔室内的不同区域;加热所述反应腔室后保温,使所述矿化剂和部分源于含磷前驱物的含磷气体反应,在所述生长基底上形成用于诱导黑磷结晶的诱导成核点或诱导成核层;降低所述反应腔室的温度,使所述含磷气体沉积在所述生长基底上,在所述诱导成核点或诱导成核层的诱导下外延生长形成所述黑磷薄膜。本发明制备的黑磷薄膜具有高质量和高结晶性,可重复性强,适用于黑磷薄膜的大面积及批量生产,满足实际应用中的产业化需求。
搜索关键词: 一种 黑磷 薄膜 制备 方法 应用
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