[发明专利]一种制备CrCN薄膜的方法有效
| 申请号： | 202010128321.5 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111334752B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;李迎春;郭力铜;赵丹;魏耕 | 申请（专利权）人： | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523838 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用高功率脉冲磁控溅射制备的CrCN薄膜方法，属于表面处理领域。本发明采用高功率脉冲磁控溅射技术，在304不锈钢和高速钢工件上首先沉积金属Cr粘结层，然后沉积成分和硬度梯度变化的CrN硬质支撑层，最后沉积CrCN。该涂层总厚度为0.3‑5μm，硬度达到1668 HV，与工件的附着力5B，在钢丝绒摩擦实验中3000次无磨痕，耐腐蚀性能优良，在盐雾环境中768小时不生锈。可以作为腐蚀性介质中工作的结构的保护涂层，延长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 crcn 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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