[发明专利]基于柔性非对称薄膜的气体流向和流速的检测装置有效

专利信息
申请号: 202010115975.4 申请日: 2020-02-25
公开(公告)号: CN111190024B 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 陈铎;周伟家;刘晓燕;刘震;孙德辉;刘宏;袁召;栾峰 申请(专利权)人: 济南大学
主分类号: G01P5/08 分类号: G01P5/08;G01P5/02;G01P13/00
代理公司: 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业) 37240 代理人: 薛鹏喜
地址: 250022 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了基于柔性非对称薄膜的气体流向和流速的检测装置。所述柔性非对称薄膜正面为蜂窝状多孔结构,反面为平面结构;并给出了柔性非对称薄膜的制备方法。所述检测装置包括柔性非对称薄膜;所述柔性非对称薄膜的正面与带叉指电极的第一柔性薄膜相对放置;所述柔性非对称薄膜的反面与第二柔性薄膜相对放置;所述叉指电极位于柔性非对称薄膜的正面和第一柔性薄膜之间;所述叉指电极的两端分别与第一导线和第二导线连接。本发明的气体流向和流速的检测装置测试气体流速和流向的原理与现有传感器不同,利用非对称薄膜形变方向和形变量所引起的电阻变化,测量气体的流向和流速;利用同一装置可以同时实现流向和流速测定。
搜索关键词: 基于 柔性 对称 薄膜 气体 流向 流速 检测 装置
【主权项】:
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