[发明专利]一种焊接密封系统及焊接密封工艺有效
申请号: | 202010105701.7 | 申请日: | 2020-02-20 |
公开(公告)号: | CN111302299B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 陶硕;裴志强;朱京;梁立兴;张琳琳;廖兴才 | 申请(专利权)人: | 北京晨晶电子有限公司 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;H01L21/50 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 成珊 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种焊接密封系统,包括填气模块、烘烤模块、焊接模块和传送模块,能够实现器件内部小于100PPM的水汽含量,并且可以控制封装体内部气压,精度在±500Pa以内,保证回填工艺气体纯度高于99.5%,适用于储能焊密封等军工特种工艺的密封要求。焊接密封系统的四个模块之间既可以独立运行,又可以协同工作,自动化程度高,能满足量产化需求。本发明公开了一种焊接密封工艺,应用上述的焊接密封系统,能够实现低水汽、高纯度工艺气体的储能焊密封。 | ||
搜索关键词: | 一种 焊接 密封 系统 工艺 | ||
【主权项】:
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