[发明专利]远程氮等离子体掺杂过渡金属硫族化合物的方法在审

专利信息
申请号: 202010083046.X 申请日: 2020-02-07
公开(公告)号: CN111312579A 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 孙正宗;轩宁宁;包文中 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;C23C8/36;C23C8/02
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明属于光电和电子器件材料技术领域,具体为远程氮等离子体掺杂过渡金属硫族化合物的方法。本发明方法包括:制备单层或少层的过渡金属硫族化合物;将过渡金属硫族化合物样品放入远程氮等离子体装置;体系采用高真空系统,压力为10‑3 Pa,通入氮气,在功率为1~1000 W的条件下处理1~1200 s,即制备得不同氮掺杂浓度的过渡金属硫族化合物。本发明方法简单易行,具有单层的可控精度,制备的氮掺杂过渡金属硫族化合物可以实现p型掺杂。
搜索关键词: 远程 等离子体 掺杂 过渡 金属 化合物 方法
【主权项】:
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