[发明专利]一种压阻式触觉传感在审
| 申请号： | 202010069051.5 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111024280A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 王跃林;李正;王东平 | 申请（专利权）人： | 苏州感芯微系统技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L1/26 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴;范成骥 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压阻式触觉传感器，包括底衬，底衬中部设有空腔，底衬上端端面上固定有感应膜，感应膜为含有惠斯通电桥的硅基薄膜，感应膜中部通过光刻和溅射工艺生成触点的金属层，在金属层上通过电镀工艺长出设定高度的触点，触点的垂直投影落在底衬空腔的范围内。当触点未接触到物体时，感应膜未产生形变，惠斯通电桥处于平衡状态称为零位，当触点接触物体时，感应膜受压同时电阻发生变化，惠斯通电桥将失去平衡。若给惠斯通电桥加一个恒定电流或电压电源，惠斯通电桥将输出与压力对应的电压信号，这样感应膜的电阻变化通过惠斯通电桥转换成压力信号输出，即压力信号输出跟随触点受到的压力变化而变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压阻式 触觉 传感 | ||
【主权项】：
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