[发明专利]一种微米间隙异面叉指式光电导开关

摘要

本发明公开了一种微米间隙异面叉指式光电导开关，包括衬底，衬底上镀有离子溅射钝化层，衬底中纵向穿插连接叉指电极，叉指电极两个极板均分别连接传输线；本发明使用小间隙的异面叉指式电极，易于触发光能分布均匀和解决触发光脉冲的同步性问题。异面叉指式电极结构替代传统横向电极结构，在光电导开关内通过激光级联触发形成多通道载流子输运，分散丝状电流分布，从而来均匀光电导开关内的瞬态工作电场，提高开关的耐压能力。