[发明专利]片上集成AlGaN脉冲激光器制备方法及其器件在审

专利信息
申请号: 202010027346.6 申请日: 2020-01-10
公开(公告)号: CN111200235A 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 康俊杰;袁冶;王新强;王维昀;王后锦;李永德 申请(专利权)人: 松山湖材料实验室
主分类号: H01S5/024 分类号: H01S5/024;H01S5/22;H01S5/343
代理公司: 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 代理人: 刘晓敏
地址: 523000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种片上集成AlGaN脉冲激光器制备方法及其器件,发明提供的方法步骤简洁,易于实现,生长具有AlGaN波导层和AlGaN载流子限制层的外延结构,并结合芯片工艺制备具有多段功能区的器件,该器件具有脊型波导区、锥形放大区和吸收调制区,各个区域的功能不一样,利用片上集成的AlGaN紫外光放大技术,可以有效地减少器件的尺寸,降低波长,经测试可以达到百瓦级的脉冲功率功率输出;采用高散热系数基板进行封装散热处理,散热效果好,确保器件的正常工作。本发明器件即激光器,采用锥型光放大技术,实现脉冲激光的片上集成放大,能够产生脉冲光,波长为紫外波段,可以应用于生物医疗、紫外通讯、光谱分析等领域。
搜索关键词: 集成 algan 脉冲 激光器 制备 方法 及其 器件
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  • 曲业飞;郭靖宇 - 山东中科际联光电集成技术研究院有限公司
  • 2023-05-09 - 2023-09-01 - H01S5/024
  • 本实用新型公开了一种小型化激光器,它属于光纤传感与光纤通讯领域,其现有技术中激光器尺寸较大,适用性较差,且无法实现FA光口与PD芯片之间的耦合对准的问题。它主要包括管壳,所述的管壳上设有制冷器和光纤组件,所述的制冷器上设有热沉,热沉上设有芯片组件、聚焦透镜和光隔离器,芯片组件包括导热基板Ⅰ,导热基板Ⅰ上设有激光器芯片;所述的光纤组件包括光纤,激光器芯片、聚焦透镜和光纤内的裸纤之间相互配合;所述光纤连接FA光口;所述的光隔离器设于聚焦透镜和专线光纤之间。本实用新型采用特殊的光电混合微型封装设计,实现激光器封装的小型化,降低了引脚数量,改进内部结构,适用性更高。
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