[发明专利]基于四象限光栅及探测器的二维微位移传感器在审
| 申请号： | 202010024742.3 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111156906A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张瑞;李孟委;靳黎明;金丽 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于微位移传感器技术领域，具体涉及一种基于四象限光栅及探测器的二维微位移传感器，包括第一激光器、第二激光器、第一准直透镜、第二准直透镜、可动光栅、四象限光栅、四象限探测器，所述第一激光器、第二激光器分别设置在第一准直透镜、第二准直透镜的正上方，所述第一准直透镜、第二准直透镜的下方设置有可动光栅，所述可动光栅的下方设置有X轴四象限光栅、Y轴四象限光栅，所述X轴四象限光栅、Y轴四象限光栅的下方分别设置有第一四象限探测器、第二四象限探测器。本发明通过四象限光栅及探测器产生四路信号进行差分，有利于后续高倍细分，且可消除背景噪声及直流分量，提高微位移检测的分辨率和精度。本发明用于微位移的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 象限 光栅 探测器 二维 位移 传感器 | ||
【主权项】：
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