[发明专利]一种MWT太阳能电池改善稳态的PSG调整和测试方法

摘要

本发明公开一种MWT太阳能电池改善稳态的PSG调整和测试方法，包括测试方法和调整方法两个方面，第一步，取刻蚀即背面碱抛后的硅片，顺着打孔的位置将孔1/2位置平均分成2块；第二步，将孔位置放在3D显微镜下，用5倍物镜，灯光亮度26%‑30%找到打孔侧面位置；第三步，将打孔位置移至光标中心；第四步，调整物镜50倍，灯光亮度12%‑16%，测试模式Zeta 3D模式测试孔内3D图片；第五步，选择直线，拉取孔内过刻长度及硅片厚度；第六步，计算孔内过刻比，孔内过刻比=过刻长度/硅片厚度，控制孔内过刻比为硅片横截面积的0‑50%。