[发明专利]至少两个样本之间的多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的分析有效
| 申请号： | 201980059319.2 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN112689852B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 帕特里克-杰里米·达昂;维尔弗里德·法夫雷;雷诺·瓦拉奇 | 申请（专利权）人： | 法国原子能及替代能源委员会 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/33;G01N21/64;G01N21/95;H01L21/66;G01N21/956 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司 11234 | 代理人： | 王淑玲 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一个方面涉及一种基于以多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷为特性的每个样本的图像来分析至少两个样本之间的所述多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的方法，包括：针对每个样本，创建至少一个小型地图的步骤(E1)，该小型地图包括多个仓并表示多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷，并且其分辨率小于样本的图像，小型地图的每个仓与样本的图像的多个像素相关联，并且具有取决于所述像素并表示至少一种类型的缺陷的数量的分数；确定表示多种类型的缺陷之中的一种或多种相同类型的缺陷的每个小型地图之间的距离的步骤，通过考虑以下变换来将两个小型地图之间的距离定义为两个小型地图之间的最小距离：旋转和/或对称，以使得两个小型地图之间的每个距离都与变换相关联。此外，通过考虑与表示多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的每个小型地图之间的距离相关联的变换，来执行对至少两个样本之间的多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的分析。 | ||
| 搜索关键词： | 至少 两个 样本 之间 多种 类型 缺陷 中的 一种 分析 | ||
【主权项】：
暂无信息
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