[发明专利]涉及监测锭颈部提拉速率的移动平均值的用于制造硅锭的方法在审

专利信息
申请号: 201980044657.9 申请日: 2019-06-25
公开(公告)号: CN112368428A 公开(公告)日: 2021-02-12
发明(设计)人: Z·陆;吴俊昇;蔡丰键;陈智勇;许永铭;曾贤达 申请(专利权)人: 环球晶圆股份有限公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20;C30B29/06
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 江葳
地址: 中国台湾新竹市科学*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明揭示其中监测颈部生长期间的提拉速率的用于制造单晶硅锭的方法。可计算所述提拉速率的移动平均值且比较所述移动平均值与目标移动平均值以确定是否未消除位错及所述颈部是否不适用于制造悬挂在所述颈部上的锭主体。
搜索关键词: 涉及 监测 颈部 速率 移动 平均值 用于 制造 方法
【主权项】:
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