[发明专利]丝网掩模的制造方法以及曝光装置在审

专利信息
申请号: 201980015266.4 申请日: 2019-06-14
公开(公告)号: CN111770839A 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 青木希仁;松本华奈;坪井惠;旭晃一 申请(专利权)人: 米塔尼梅克罗尼株式会社
主分类号: B41C1/055 分类号: B41C1/055;B41F15/08;B41N1/24;G03F7/20;H01L31/0224;H05K3/12
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 曲天佐
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 提供能够实现高精度的印刷的丝网掩模的制造方法以及曝光装置。本发明的一方式的丝网掩模的制造方法具备:曝光处理,以规定的曝光图案对感光性材料的掩模膜照射光,在所述掩模膜形成规定的图案开口,所述掩模膜形成于具有供涂覆材透过的透过部的网格部;以及基于所述透过部的信息校正所述曝光图案具备。
搜索关键词: 丝网 制造 方法 以及 曝光 装置
【主权项】:
暂无信息
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