[发明专利]试样支承体和试样支承体的制造方法在审

专利信息
申请号: 201980006766.1 申请日: 2019-01-08
公开(公告)号: CN111566479A 公开(公告)日: 2020-08-21
发明(设计)人: 内藤康秀;大村孝幸;小谷政弘 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦;徐飞跃
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的试样支承体包括:具有彼此相对的第1表面和第2表面的基片;和至少设置在第1表面的导电层。在基片和导电层形成有在导电层的与基片相反侧的第3表面和第2表面具有开口的多个贯通孔。在第2表面、第3表面和多个贯通孔各自的内表面设置有对水的亲和性比基片高的保护膜。
搜索关键词: 试样 支承 制造 方法
【主权项】:
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  • 野上真;伊藤伸也 - 株式会社日立高新技术
  • 2016-03-07 - 2020-12-29 - G01N27/62
  • 本发明的分析装置包括:向质量分析装置(100)内导入试料的试料导入部(101);对导入至装置内的试料进行处理的试料浓缩部(103);对在处理部中处理后的试料进行分析的检测部(104);以及对试料导入部(101)、试料浓缩部(103)、检测部(104)进行控制的控制部(105),试料导入部(101)具有试料导入阀(204),试料浓缩部(103)具有洗脱阀(402)以及清洗阀(401),清洗阀(401)配置于试料导入阀(204)与洗脱阀(402)之间。
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