[发明专利]包括具有热指示器的衬底的电子部件有效

专利信息
申请号: 201980002129.7 申请日: 2019-09-12
公开(公告)号: CN110731008B 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 陈鹏;周厚德;顾超 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H01L23/34 分类号: H01L23/34;G01K11/12
代理公司: 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 代理人: 林锦辉;刘景峰
地址: 430074 湖北省武汉市东湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 一种电子部件包括:衬底,其包括位于所述衬底的正面上的管芯附接区域和周界区域;以及设置在所述周界区域内以用于监测所述衬底的累积热暴露的至少一个热指示器。当达到与OSP层的状态衰退或管芯附接膜的粘附劣化相关的预定热预算极限时,热指示器发出信号。
搜索关键词: 包括 具有 指示器 衬底 电子 部件
【主权项】:
1.一种电子部件,包括:/n衬底,其包括处于所述衬底的正面上的管芯附接区域和周界区域;以及/n至少一个热指示器,其设置在所述周界区域内以用于监测所述衬底的累积热暴露。/n
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