[实用新型]一种基于光学平台罩箱用的承载台有效

专利信息
申请号: 201922143953.4 申请日: 2019-12-04
公开(公告)号: CN211563032U 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 谢国平;王秋桃;郑岑 申请(专利权)人: 泰州炬昕微电子有限公司
主分类号: B01L9/02 分类号: B01L9/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 225300 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种基于光学平台罩箱用的承载台,包括支撑腿、蜂窝芯、罩箱和冷却支撑架,所述支撑腿顶部通过焊接固定连接有底板,所述底板底部内壁通过焊接固定连接有蜂窝芯,本实用新型通过设置的冷却支撑架以及循环冷却水管,实现了在光学平台上罩箱用的承载台使用时,罩箱内的仪器产生的热量通过热传导传递给顶板上,顶板热量传递给冷却支撑架,通过循环冷却水管中冷却水的持续热交换进行吸收,防止仪器热量聚集,从而影响仪器的使用稳定性,同时通过工程螺纹孔落入的灰尘以及水渍通过盛接槽进行盛接,防止灰尘以及水渍进入下方的蜂窝芯中造成腐蚀,需要清洗时只需打开侧开门,抽出盛接槽即可进行冲洗,方便快捷。
搜索关键词: 一种 基于 光学 平台 罩箱用 承载
【主权项】:
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