[实用新型]自动对焦装置及应用其的光谱分析仪

摘要

本实用新型公开一种自动对焦装置及应用其的光谱分析仪，自动对焦装置，包括载物台、光谱分析系统、自动对焦装置，自动对焦装置包括手动微调机构、对焦机构以及控制系统，对焦机构设于手动微调机构的驱动端，载物台设于对焦机构的驱动端，控制系统内镶嵌有样本数据，控制系统与光谱分析系统数据连接。光谱分析仪包括上述自动对焦装置。其能够对被测镜片实现自动对焦、自动分析功能。本实用新型能够根据样品的光斑成像情况实时的进行自动聚焦；聚焦过程自动完成，无需专业人员参与，提高光谱分析的操作效率，降低光谱分析的操作门槛；本实用新型结构简单，只需输入对焦样本数据，即能对多个受检测片进行自动对焦。