[实用新型]一种晶棒开方上料夹持装置有效
| 申请号： | 201921031413.0 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN210910672U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 解培玉;段景波;徐公志;王宝超;于秀升 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 张明利 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶棒开方上料夹持装置，属于晶硅加工技术领域，包括底座，所述底座上设有工作台和对中组件，所述工作台上设有支撑座、上料压紧组件以及驱动组件，支撑座用于支撑晶棒，上料压紧组件用于压紧位于支撑座上的晶棒的顶部，对中组件用于夹持位于支撑座上的晶棒的侧面，实现对中操作，驱动组件带动支撑座、上料压紧组件沿着底座上的导轨滑动，实现上料，本实用新型借助上料压紧组件可适应圆形、方形和菱形不同形状的晶棒夹持，省去了上下晶棒时的大量辅助时间，采用上下压紧的方式夹持住晶棒，夹持稳定，同时，借助对中组件提高对中精度，使晶棒长度方向平行于导轨方向，确保开方垂直度，借助驱动组件提高工作台横向移动精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开方 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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