[实用新型]一种晶圆腐蚀抛动机构有效
| 申请号： | 201920737584.9 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN210304821U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 刘金升;沙永健 | 申请（专利权）人： | 苏州施密科微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 吕明霞 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆腐蚀抛动机构，包括，升降气缸固定座，所述升降气缸固定座固定设置在抛动机构前板的上端，所述升降气缸固定座下端固定连接升降气缸，所述升降气缸的下端固定连接抛动电机固定座，所述抛动电机固定座上端固定连接抛动电机，所述抛动电机的输出端连接抛动偏心轮，所述抛动偏心轮通过转轴与抛动臂连接，所述抛动臂与产品固定座固定连接，所述抛动臂与抛动滑块固定连接，抛动滑块与抛动导轨滑动连接，所述抛动机构前板的正面可拆卸安装有抛动机构检修口，所述抛动电机固定座滑动连接升降导轨，所述升降导轨固定设置在所述抛动机构前板的内部。本设备体积小巧，抛动机构整体处于一个密闭空间，有效做到防腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀 机构 | ||
【主权项】：
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