[实用新型]一种曝光机基板载台及曝光机有效
| 申请号： | 201920667064.5 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN209606774U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 汪杰 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 215333 江苏省昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种曝光机基板载台及曝光机，包括具有用于承托基板的上表面的载台本体；多个且设置在载台本体的上表面的支撑柱；铺设在载台本体的上表面的气垫，气垫上设置有供支撑柱穿过的柱孔；气垫充气后的上表面与支撑柱的上端位于同一水平面。本实用新型在进行曝光作业时，使气垫处于充气状态，此时，气垫的上表面与支撑柱的上端面形成一个支撑基板的平面，基板置于该平面上进行曝光时，由于气垫和支撑柱紧贴基板的下表面，基板下方无空隙，曝光过程中，支撑柱与其他位置的温度和能量差异几乎消失，从而有效避免由于温度差异而产生的stage mura问题，有效增加产品良率，特别时厚度较薄的玻璃基板，改善效果最佳。 | ||
| 搜索关键词： | 气垫 支撑柱 上表面 曝光机 载台本体 基板 本实用新型 基板载台 同一水平面 玻璃基板 产品良率 承托基板 充气状态 能量差异 曝光过程 温度差异 支撑基板 曝光 上端面 无空隙 下表面 上端 充气 柱孔 紧贴 穿过 铺设 | ||
【主权项】：
1.一种曝光机基板载台，其特征在于，包括：载台本体，所述载台本体具有用于承托基板的上表面；支撑柱，所述支撑柱为多个且设置在所述载台本体的上表面；气垫，所述气垫铺设在所述载台本体的上表面，且所述气垫上设置有供所述支撑柱穿过的柱孔；所述气垫充气后的上表面与所述支撑柱的上端位于同一水平面。
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