[实用新型]用于电子元件加工的光刻装置

摘要

本实用新型公开了用于电子元件加工的光刻装置，包括箱体、机头、集尘盒，所述箱体后面设置有立柱，所述立柱顶部安装有所述机头，所述机头下面安装有激光头，所述立柱前方设置有夹具，所述夹具和所述箱体螺栓连接，所述夹具一侧设置有防尘罩，所述防尘罩形状为圆弧形，所述防尘罩和所述箱体铆接在一起，所述防尘罩下方设置有排尘口，所述排尘口上面安装有支撑网。本实用新型所述的用于电子元件加工的光刻装置，利用气流喷吹，可以在刻印前先对电子元件表面灰尘进行清理，避免灰尘对激光可以的影响，通过可任意弯折的万向软骨，方便调整喷嘴的位置和气流方向，便于操作，利用集尘盒和过滤网使气流循环流动，减小了灰尘扩散的范围。

主权项

1.用于电子元件加工的光刻装置，包括箱体(1)、机头(6)、集尘盒(9)，其特征在于：所述箱体(1)后面设置有立柱(5)，所述立柱(5)顶部安装有所述机头(6)，所述机头(6)下面安装有激光头(13)，所述立柱(5)前方设置有夹具(7)，所述夹具(7)和所述箱体(1)螺栓连接，所述夹具(7)一侧设置有防尘罩(8)，所述防尘罩(8)形状为圆弧形，所述防尘罩(8)和所述箱体(1)铆接在一起，所述防尘罩(8)下方设置有排尘口(20)，所述排尘口(20)上面安装有支撑网(21)，所述支撑网(21)和所述箱体(1)卡扣连接，所述夹具(7)远离所述防尘罩(8)一侧设置有支撑管(2)，所述支撑管(2)上面安装有万向软管(3)，所述万向软管(3)和所述支撑管(2)插拔连接，所述万向软管(3)一端安装有喷嘴(4)，所述喷嘴(4)形状为扁平型，所述喷嘴(4)和所述万向软管(3)密封螺纹连接，所述支撑管(2)下方安装有输气管(12)，所述输气管(12)下方安装有气泵(11)，所述气泵(11)和所述箱体(1)螺栓连接，所述箱体(1)内安装有所述集尘盒(9)，所述集尘盒(9)和所述箱体(1)插拔连接，所述集尘盒(9)包括底板(17)，所述底板(17)前面设置有前板(16)，所述前板(16)前面设置有手凹槽(18)，所述底板(17)一侧设置有第一侧板(14)，所述第一侧板(14)一侧设置有第二侧板(15)，所述第二侧板(15)的高度小于所述第一侧板(14)的高度，所述集尘盒(9)一侧设置有过滤网(10)，所述过滤网(10)和所述箱体(1)插拔连接，所述过滤网(10)前面安装有手柄(19)。