[实用新型]一种直写光刻机吸盘压板装置有效
| 申请号： | 201920437840.2 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN209606772U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 胡刚 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种直写光刻机吸盘压板装置，包括安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构。固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板。移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆。前挂板组件和后挂板组件均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸。压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。本实用新型能够将翘曲的PCB板材压平，使PCB板材可以正常生产、曝光，提高光刻机的良率和实用性，降低对PCB板材平整度的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 前挂板组件 后挂板 气缸 本实用新型 直写光刻机 滚珠丝杠 压板装置 移动压杆 左端部 挂板 压杆 电机 螺母 气缸活塞杆 输出轴相连 对称设置 光刻机 活塞杆 平整度 良率 翘曲 外壁 压板 压平 曝光 贯穿 生产 | ||
【主权项】：
1.一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：包括安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构；所述固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板；所述移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆；所述前挂板组件和后挂板组件的结构相同，均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸；所述压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。
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