[实用新型]一种用于ZnS元件的新型盘检装置有效
| 申请号： | 201920425456.0 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN210136186U | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 陈兴建;顾元元 | 申请（专利权）人： | 成都贝瑞光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 成都慕川专利代理事务所(普通合伙) 51278 | 代理人： | 谢芳 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种用于ZnS元件的新型盘检装置，涉及光电技术领域。包括产品检验台、光源装置和显微装置。显微装置设于产品检验台上方并朝向产品检验台的台面设置，光源装置呈倾斜设置且其光线发射部朝向产品检验台的台面设置。光源装置的光线波长为532nm。其结构简单，检测精度和灵敏度高，操作方便，能够直观、精确地反应元件表面的质量情况，大大提高了盘检过程中的准确度和效率，对划痕和污点的检测效率大大提高，加工效率也同时得到了明显提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 zns 元件 新型 装置 | ||
【主权项】：
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