[实用新型]方形盒状三维探测器有效
| 申请号： | 201920424766.0 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN209544344U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 李正;张亚;廖川;路顺茂;刘美萍 | 申请（专利权）人： | 湖南正芯微电子探测器有限公司 |
| 主分类号： | H01L25/04 | 分类号： | H01L25/04;H01L31/0224;H01L31/08;H01L31/18 |
| 代理公司： | 长沙新裕知识产权代理有限公司 43210 | 代理人： | 周跃仁 |
| 地址： | 411105 湖南省湘潭市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种方形盒状三维探测器，探测器由数个探测单元排列而成，探测单元包括底部的芯片基底，芯片基底上固定有壳形电极，壳形电极包括底面和侧壁，壳形电极内部填充有探测基体，探测基体顶部中间镶嵌有中央收集电极，中央收集电极与壳形电极顶部附有金属层，探测基体顶部附有氧化层；探测器的位置分辨率、能量分辨率和电荷收集效率提高，探测器的全耗尽电压低，能够使用电池进行驱动，携带方便，且能够双面检测入射粒子，工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 壳形 探测器 三维探测器 探测 方形盒状 收集电极 探测单元 基底 芯片 电荷收集效率 本实用新型 工作效率高 能量分辨率 位置分辨率 内部填充 双面检测 携带方便 电压低 金属层 氧化层 侧壁 底面 入射 耗尽 粒子 镶嵌 电池 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种方形盒状三维探测器，其特征在于，探测器由数个探测单元排列组成，所述探测单元的外形呈四棱柱状，探测单元包括芯片基底(4)，芯片基底(4)上固定有离子注入层，所述离子注入层上附着有探测基体(2)，探测基体(2)四周从上到下刻蚀出沟槽，沟槽内掺杂扩散形成电极，沟槽电极与离子注入层共同构成壳形电极(3)，探测基体(2)顶部中间镶嵌有中央收集电极(1)，中央收集电极(1)和壳形电极(3)顶部固定有金属层(6)，探测基体(2)顶部附着有氧化层(5)。
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