[实用新型]TEM样品杆及TEM机台有效
| 申请号： | 201920396404.5 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN209927733U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 熊娇;李桂花;刘君芳;刘慧丽;李辉 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种TEM样品杆及TEM机台。所述TEM样品杆包括杆身、位于所述杆身的一端的样品放置部、与所述杆身的另一端连接的手持部以及设置于所述手持部的气泡平衡仪。应用本实用新型提供的TEM样品杆，可以监控并以此调节实际操作过程中TEM样品杆的水平度及角度，从而改善TEM机台主体仓破真空的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 杆身 本实用新型 机台 机台主体 样品放置 一端连接 平衡仪 破真空 水平度 监控 应用 | ||
【主权项】：
1.一种TEM样品杆，其特征在于，包括杆身、位于所述杆身的一端的样品放置部、与所述杆身的另一端连接的手持部以及设置于所述手持部的气泡平衡仪。/n
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