[实用新型]压电复合振子和压电复合振子组件有效
| 申请号： | 201920205253.0 | 申请日： | 2019-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN209402486U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张曙光;唐浩;佃奕群 | 申请（专利权）人： | 广东奥迪威传感科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 511400 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种压电复合振子，解决了现有的压电陶瓷片在安装至金属基板上时安装困难且容易出现压电陶瓷片脱胶或断裂的问题，其技术方案要点是压电复合振子包括压电陶瓷片及连接固定于所述压电陶瓷片和外部的基板之间的金属材质的连接板；通过将压电陶瓷片与体积较小的连接板进行连接，压电陶瓷片与连接板的连接更加简单且连接更加牢固，同时，由于连接板为金属材质，连接板与外部基板之间的连接方式选择更多，在连接上也更加紧密，不容易损坏，从而使压电陶瓷片与基板的安装更加方便快捷，防止压电陶瓷片脱胶或断裂。 | ||
| 搜索关键词： | 压电陶瓷片 连接板 压电复合振子 金属材质 基板 脱胶 技术方案要点 本实用新型 金属基板 连接方式 连接固定 外部基板 断裂的 断裂 外部 | ||
【主权项】：
1.一种压电复合振子，包括压电陶瓷片，其特征是：还包括连接固定于所述压电陶瓷片和外部的基板之间的金属材质的连接板。
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- 本发明公开了Ⅲ族氮化物薄膜体声波谐振器和滤波器，涉及谐振器和滤波器技术领域，本发明包含衬底，设于衬底上的布拉格反射层、设于布拉格反射层上的导电层、压电层、上金属电极，所述导电层为Ⅲ族氮化物导电层，所述压电层为Ⅲ族氮化物压电层，Ⅲ族氮化物导电层与Ⅲ族氮化物压电层之间产生高迁移率二维电子气作为压电电荷的收集电极和疏运通道。避免了先沉积下金属电极，再在金属电极上制备压电层的过程，实现了下导电材料层和压电材料层之间的连续制备，工艺流程简单、方便，并且同为Ⅲ族氮化物的导电层上制备的压电材料晶体质量更好，压电系数更高，利用这种结构的谐振器组成的滤波器的滤波性能更好。
- 一种体声波器件及集成结构-201610105113.7
- 祝明国;李平;孙成龙;王小茹;彭波华;胡念楚;贾斌 - 锐迪科微电子（上海）有限公司
- 2016-02-25 - 2018-12-07 - H03H9/17
- 本申请公开了一种体声波器件，采用包含绝缘层的衬底，在绝缘层一侧的半导体材料中具有空腔，在该层半导体材料的空腔之上依次具有底电极、压电薄膜和顶电极。本申请的体声波器件同样是基于包含绝缘层的衬底，但是结构最为简单，而且不用改变现有基于体硅衬底的体声波器件制造工艺即可实现。
- 压电振子以及压电振动装置-201580003676.9
- 竹山佳介;中村大佐;龟田英太郎;开田弘明 - 株式会社村田制作所
- 2015-01-15 - 2018-11-16 - H03H9/17
- 本发明提供压电振子以及压电振动装置。能够高效地进行压电振子中的共振频率的调整。压电振子具备：第一电极以及第二电极；压电膜，其形成于第一电极与第二电极之间，并且具有与第一电极对置的第一面；以及第一调整膜以及第二调整膜，它们经由第一电极与压电膜的第一面对置地形成，第一调整膜在第一面中的至少第一区域与压电膜重叠，第二调整膜在第一面中的至少与第一区域不同的第二区域与压电膜重叠，通过第一区域以及第二区域覆盖第一面的大致全域，第二区域是在该压电振子的振动时位移比第一区域大的区域，第二调整膜由蚀刻所导致的质量减少的速度比第一调整膜快的材料形成。
- 空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法-201410005507.6
- 李国强;刘国荣 - 佛山市艾佛光通科技有限公司
- 2014-01-03 - 2018-11-09 - H03H9/17
- 本发明公开了一种空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法，属于声波谐振器技术领域。该制备方法包括：在制备衬底上生长该声波谐振器中的薄膜结构层；将制备衬底和其上生长的薄膜结构层一起，以该薄膜结构层的一面固定于支撑衬底上，在支撑衬底和该薄膜结构层之间形成空腔；将制备衬底与薄膜结构层剥离；该薄膜结构层包括有支撑层，或包括有支撑层和底电极，或包括有支撑层、底电极和压电膜，或包括有支撑层、底电极、压电膜和顶电极；形成依次层叠为支撑衬底、支撑层、底电极、压电膜和顶电极的结构。采用该方法制备得到的空腔型薄膜体声波谐振器，克服了常规工艺中在牺牲层去除的过程中对谐振结构产生不良影响的问题，使该谐振器具备更好的性能。
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