[实用新型]一种晶圆缺陷测试仪用气浮轨道水平度精密稳定装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆缺陷测试仪用气浮轨道水平度精密稳定装置，涉及半导体技术领域，该装置根据固定在工作平台上的水平传感器的反馈数据，通过气泵输出的压缩空气精确控制工作平台各个区域的高度，通常是控制工作平台各个角的高度从而调节工作平台的水平度，水平度具有数据化标准，可以避免主观判断带来的不确定性，同时压缩空气调节工作平台的高度，静态水平度控制精度高、无反复震动问题，可以良好的屏蔽放置在工作平台上的多轴移动平台和外部环境震动对工作平台水平度的影响，实现水平度的稳定控制，使得放置在工作平台上的多轴移动平台可以实现对半导体晶片的样品的高精度控制。

主权项

1.一种晶圆缺陷测试仪用气浮轨道水平度精密稳定装置，其特征在于，所述气浮轨道水平度精密稳定装置包括设备框体、至少两个气浮装置、工作平台、水平传感器和主控器，所述至少两个气浮装置均匀分布在所述设备框体和所述工作平台之间，各个所述气浮装置的结构相同，每个所述气浮装置包括支撑脚、气浮腔、通气管、气泵、位置条、传感器安装板、上限位传感器、下限位传感器、上预警传感器和下预警传感器，所述支撑脚固定在所述工作平台的下表面，所述气浮腔呈中空的腔体结构，所述气浮腔固定在所述设备框体的上表面，所述支撑脚伸入所述气浮腔中，所述支撑脚与所述气浮腔之间通过密封件进行气密密封，所述气浮腔通过所述通气管连通所述气泵，所述气浮腔中充有压缩空气；所述传感器安装板固定在所述设备框体的上表面，所述上限位传感器、下限位传感器、上预警传感器和下预警传感器分别固定在所述传感器安装板上，所述上预警传感器、上限位传感器、下限位传感器和下预警传感器依次从上至下位于不同的水平高度位置，所述位置条固定在所述工作平台的下表面，所述位置条与所述上预警传感器、上限位传感器、下限位传感器和下预警传感器配合；所述主控器固定在所述工作平台或所述设备框体上，各个所述气浮装置中的上限位传感器、下限位传感器、上预警传感器和下预警传感器分别电性连接所述主控器，所述主控器连接并控制各个所述气浮装置中的气泵；所述水平传感器固定在所述工作平台上，所述水平传感器电性连接所述主控器。