[实用新型]一种集成微纳传感器有效
| 申请号： | 201920163455.3 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN210109021U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 金庆辉;胡凯凯;张赞;尹加文;金涵;郜晚蕾;简家文 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30;G01K7/22 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226 | 代理人： | 陈其明 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 提供一种用于检测水中pH值、电导率和温度三参数的集成微纳传感器，包括键合在一起的硅基片(14)与玻璃基片(10)，硅基片(14)上分别设置有温度传感器(1)、pH值传感器(2)和电导率传感器(3)，pH值传感器(2)包括呈内圆环与外圆环布置的铱/氧化铱工作电极(5)与铂对电极(6)，底下设置向下开口腔，与玻璃基片(10)形成氯化钾饱和溶液储液腔(12)，储液腔(12)顶壁设置纳米级锥形微孔(9)阵列通道；玻璃基片(10)设置注液孔(13)，配置密封胶；玻璃基片(10)上表面设置有铂电极引线(11)，其末端设置银/氯化银参比电极层(7)；可以测量水环境同一个位点三个参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 传感器 | ||
【主权项】：
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