[实用新型]一种用于半导体生产设备二次配管路的试压装置有效
| 申请号： | 201920118418.0 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209445072U | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 李斌;马奔;刘国东 | 申请（专利权）人： | 大连盛功电子系统工程技术有限公司 |
| 主分类号： | F17D5/02 | 分类号： | F17D5/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116000 辽宁省大连市高新技术*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于半导体生产设备二次配管路的试压装置，包括：移动推车、固定架、分压管、加压阀组、泄压阀组、试压阀组、压力表、记录仪。所述固定架焊接在移动推车上面，所述分压管焊接于固定架上，所述加压阀组、泄压阀组、试压阀组、压力表、记录仪均连接于分压管上，所述加压阀连接于分压管前端，所述压力表连接于分压管后端，所述泄压阀组、试压阀组连接于分压管同侧，所述记录仪连接于分压管另一侧。本实用新型具有组装灵活方便，移动方便的特点，可以对多条管路同时进行试压，避免了施工现场随意接管试压的情况，消除了安全及质量隐患，提高了工作效率，且整个试压过程，有序高效。 | ||
| 搜索关键词： | 分压管 压力表 记录仪 固定架 加压阀 试压阀 泄压阀 半导体生产设备 本实用新型 试压装置 移动推车 焊接 多条管路 工作效率 施工现场 移动方便 质量隐患 组连接 同侧 接管 组装 灵活 安全 | ||
【主权项】：
1.一种用于半导体生产设备二次配管路的试压装置，其特征在于，包括：移动推车、固定架、分压管、加压阀组、泄压阀组、试压阀组、记录仪、压力表，所述固定架焊接在移动推车上面，所述分压管焊接于固定架上，所述加压阀组、泄压阀组、试压阀组、压力表、记录仪均连接于分压管上，所述加压阀组连接于分压管前端，所述压力表连接于分压管后端，所述泄压阀组、试压阀组连接于分压管同侧，所述记录仪连接于分压管另一侧。
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