[发明专利]基于氧化锌/钴酸锌复合材料的甲醛传感器及其制备方法

摘要

一种基于PdO纳米粒子修饰的ZnO/ZnCo2O4复合材料的甲醛气体传感器的制备方法，属于气体传感器技术领域。由带有Pd金属插指电极的Al2O3衬底、在Pd金属插指电极和Al2O3衬底上采用涂覆技术制备的PdO纳米粒子修饰的ZnO/ZnCo2O4复合材料敏感层组成。当PdO纳米粒子修饰在ZnO/ZnCo2O4微球材料上时，由于纳米尺寸的PdO纳米粒子具有很强的甲醛催化氧化能力，因此有利于提高气敏材料的气敏响应。本发明所述传感器具有较低的检测下限，同时本发明具有工艺简单、制得的甲醛气体传感器体积小、适于大批量生产的特点，因而具有重要的应用价值。