[发明专利]基板吸附装置在审
| 申请号： | 201911351372.8 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111085954A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 张伟基 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 吕姝娟 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板吸附装置，包括：至少一第一吸附部，所述第一吸附部设置于所述基板吸附装置的吸附面的中部区域；至少两第二吸附部，所述第二吸附部设置于所述吸附面的外围区域，其中，所述外围区域位于所述中部区域的至少一侧；所述第二吸附部的第二吸附力大于所述第一吸附部的第一吸附力。本发明能防止出现吸附基板失败的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 装置 | ||
【主权项】：
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